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芯明天為您搭建光路穩(wěn)定系統(tǒng)，該系統(tǒng)可產(chǎn)生光路的擾動信號，并可對擾動信號進行補償，將光路中的擾動進行抑制、衰減，從而使光路穩(wěn)定。

該光路穩(wěn)定系統(tǒng)由PSD光源激光器、用于擾動模擬的壓電偏轉(zhuǎn)鏡及控制器、用于補償?shù)膲弘娖D(zhuǎn)鏡及控制器、光信號傳感器以及偏差比較電路組成。

光路穩(wěn)定系統(tǒng)

該系統(tǒng)組成部件

光源激光器×1臺

光功率及波長在PSD光信號傳感器能接收范圍內(nèi)。

芯明天P33.T2K壓電偏轉(zhuǎn)鏡、E53.B3壓電控制器及支架×各兩套

該P33.T2K壓電偏轉(zhuǎn)鏡產(chǎn)生的光束偏轉(zhuǎn)范圍達6mrad，工作頻率可達80Hz。

PSD光信號傳感器×1臺

X、Y軸測量行程：±2mm；響應(yīng)時間：<20 µs。對PSD光信號傳感器量程的選擇取決于入射到PSD光信號傳感器中入射光始發(fā)點到PSD光信號傳感器間的距離。

光路穩(wěn)定系統(tǒng)工作原理

該光路穩(wěn)定系統(tǒng)的基本原理為：光源激光器發(fā)出的光束經(jīng)過干擾用壓電偏轉(zhuǎn)鏡及補償用壓電偏轉(zhuǎn)鏡反射后，被PSD光信號位置傳感器接收，并反饋給補償用壓電偏轉(zhuǎn)鏡控制器，通過其內(nèi)部偏差比較電路的計算，輸出補償電壓，驅(qū)動補償用壓電偏轉(zhuǎn)鏡進行角度調(diào)整，將干擾信號進行補償、衰減。

在操作使用前，需要將PSD光信號位置傳感器與補償壓電偏轉(zhuǎn)鏡控制器進行標定，芯明天E53.B3壓電控制器具有偏差比較電路。標定好后，啟動干擾用壓電偏轉(zhuǎn)鏡的控制器，驅(qū)動干擾壓電偏轉(zhuǎn)鏡，產(chǎn)生模擬干擾信號（信號頻率、幅度、波形可調(diào)）。PSD光信號位置傳感器將接收到的光位置信號反饋到補償用壓電偏轉(zhuǎn)鏡控制器，通過其內(nèi)部偏差比較電路，輸出補償所需的電壓信號，驅(qū)動補償壓電偏轉(zhuǎn)鏡進行與干擾信號相同但相反的角度調(diào)整。

測試實驗結(jié)果

在X向或Y向150微米、10Hz干擾信號下，經(jīng)過閉環(huán)補償后，干擾信號減小至5微米。