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壓電陶瓷剪切片是利用壓電陶瓷剪切向效應(yīng)d ₁₅ ，通過施加正負(fù)電壓使得壓電陶瓷產(chǎn)生切向位移。

特點(diǎn)

±320V 驅(qū)動

剪切運(yùn)動

單片位移1.5μm

可疊堆獲得大位移或XYZ三維

可切割

應(yīng)用

激光腔調(diào)諧

振動源

精密定位

微操作

AFM原子力顯微鏡

運(yùn)動方式

壓電剪切片一側(cè)具有切角，施加正壓的表面朝向切角方向運(yùn)動。可帶載負(fù)載如鏡片等，做橫向運(yùn)動。

技術(shù)參數(shù)

壓電剪切片安裝使用注意事項

剪切片的電極在上下表面。它可以通過機(jī)械夾持或膠水進(jìn)行固定安裝。

當(dāng)用機(jī)械夾持固定時一定要控制剪切片的軸向力，太低的力會導(dǎo)致滑動但太大的力又會損壞陶瓷。在合適的接觸面及較低的剪切力情況下，推薦1~3MPa的壓力。

在機(jī)械夾持下的運(yùn)動：

如果使用夾持力，負(fù)載機(jī)構(gòu)在致動方向的剛度應(yīng)盡可能的低，以避免阻礙剪切片的運(yùn)動。

負(fù)載必須作用在整個表面，以確保力的均勻分布。特別是施加壓力時，接觸面一定要足夠平整。

接觸面必須與結(jié)構(gòu)的其他部分絕緣。可以通過加絕緣陶瓷片或聚酰亞胺絕緣薄膜實現(xiàn)。

優(yōu)選的膠水粘合的方法：

如使用膠水來固定剪切片，一定要確保剪切片與基片間的膠層非常薄，一般可以使用較低粘度的膠水，在固化過程應(yīng)使用一定的壓力，例如2-3MPa.

環(huán)氧樹脂膠非常適合于粘貼壓電陶瓷。

電連接

外部電極：剪切片的兩個電極是一樣的。 工作方向通過切角來表明。

符號規(guī)定：給一面電極以正電壓，此表面將會朝著切角邊緣方向產(chǎn)生一個相對的位移。

外部電極的連接可以通過機(jī)械接觸、焊接、導(dǎo)電膠粘或引線接合來實現(xiàn)。

機(jī)械連接可以通過一個銅彈簧與外部電極連接。剪切片上的金電極提供非常好的導(dǎo)電性能，同時避免了電極氧化。