芯明天Z向掃描臺(tái)配套數(shù)字式控制器用于顯微計(jì)量
P78.Z100壓電顯微樣品臺(tái)
P78系列壓電顯微樣品臺(tái)可以帶動(dòng)樣品以亞納米級(jí)分辨率進(jìn)行高速掃描與定位，是顯微計(jì)量學(xué)和高分辨率顯微鏡應(yīng)用的重要功能。配置閉環(huán)傳感器，對(duì)位移實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并反饋給閉環(huán)壓電控制器，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精密控制及超高線性度和穩(wěn)定性。無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)確保實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)、高剛度及毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間，緊湊的外形結(jié)構(gòu)易于集成到顯微儀器設(shè)備中。
特性
· 一維Z軸運(yùn)動(dòng)
· 運(yùn)動(dòng)行程100μm
· 閉環(huán)SGS傳感器
· 分辨率可達(dá)4nm
· 通孔尺寸120×70mm
· 空載階躍時(shí)間5ms
· 空載諧頻200Hz
· 承載能力1kg
· 外形尺寸：154×136×25mm
E53.D數(shù)字式伺服控制器
與傳統(tǒng)的控制器相比，數(shù)字式伺服壓電控制器具有更高的線性度，操作簡(jiǎn)單以及易于控制的優(yōu)點(diǎn)。E53系列控制器，體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，且提供了快速響應(yīng)的實(shí)時(shí)修正，通過優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精準(zhǔn)度與穩(wěn)定性，可靠的抗干擾設(shè)計(jì)保證了控制器的高頻響應(yīng)速度，從而實(shí)現(xiàn)納米定位臺(tái)精確、穩(wěn)定的運(yùn)動(dòng)。
特性
· 一通道 閉環(huán)控制
· 0~120/150V輸出
· 平均電流60mA
· 放大器帶寬10kHZ
· 通信接口：USB/RS-422/RS-232
· 重量：350g
· 外形尺寸：148×27.5×80mm
17051647888
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