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快速、準確的讀取計算機硬盤磁道的寬度對于提高硬盤存儲信號密度和讀取時間非常重要，壓電納米定位臺納米級定位精度為高精度磁盤磁道定位提供了解決方案。

XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅X軸運動定位臺，內置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，具有剛度大、分辨率高、響應速度快等特點，在精密定位領域中發揮著至關重要的作用。

特點

• 行程范圍60μm

• 承載能力5kg

• 重復定位精度可達0.05%F.S.

• 亞毫秒響應時間

剛度大 閉環精度高

XP-63X系列壓電納米定位臺有*的結構設計，具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點。負載情況下也具有很高的使用頻率，響應時間可以實現亞毫秒級。

閉環版本配置應變傳感器，可實時檢測位置信號并反饋給閉環控制器，控制器通過PID 算法對檢測到的位置信號進行修正，從而實現納米級的精密定位。

頻率負載曲線

技術參數

型號：XP-633

運動自由度：X

行程范圍（0~120V）：48μm

行程范圍（0~150V）：60μm

閉環傳感器類型：SGS

閉/開環分辨率：2/0.3nm

閉環線性度：0.15%F.S.

閉環重復定位精度：0.1%F.S.

俯仰/偏航/滾動：<30μrad

推/拉力：480/80N

運動方向剛度：10N/μm

空載諧振頻率：1.5kHz

閉/開環空載階躍時間：5/3.2ms

承載能力：5kg

靜電容量：7.2μF

材質：鋁

重量：450g