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P12.XY500Z800為大行程XYZ三維運動掃描臺，平臺采用機構放大設計原理，中心具有通孔，非常適用于近場掃描、共焦顯微等應用。該系列掃描臺XY軸程可達500μm，Z軸直線運動行程可達800μm。

中心通孔適配器為標準螺紋牙W0.8×1/36"，便于與顯微鏡集成安裝。可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。平臺內部采用有限元分析（FEA）優化的線切割撓曲鉸鏈結構。FEA使其設計具有盡可能高的剛度，并使線性和角度跳動最小化。開環、閉環可選，真空版本可選。

特點

• XYZ三維直線運動

• XY行程500μm，Z向行程800μm

• 適用于物鏡的三維定位調節

• 可定制真空版本

開閉環曲線

P12.XY500Z800 XY軸電壓位移開閉環曲線。

技術參數

型號：P12.XY500Z800

運動自由度：XYZ

XY軸行程范圍（0~150V）：500μm/軸

Z軸行程范圍（0~150V）：800μm

閉環傳感器類型：SGS

XY軸閉/開環分辨率：20/5nm

Z軸閉/開環分辨率：30/8nm

XY軸靜電容量：28.8μF/軸

Z軸靜電容量：43.2μF

承載能力：250g

重量：1000g（不含線）