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3路輸出（1路恒壓）

3路輸出

3通道輸出

模擬、上位機通信、旋鈕

模擬與數字控制

模擬控制

開環/閉環

開環/閉環

開環/閉環

平均功率35W/通道

平均功率5W/通道

平均功率7W/通道

運動自由度

θx, θy

θx, θy

θx, θy

θx, θy

θx, θy

θx, θy

標稱行程范圍（0~120V）

2.5或±1.25

4或±2

5或±2.5

6.8或±3.4

7.5或±3.75

10或±5

mrad±20%

大行程范圍（-20~150V）

3.5或±1.75

5.5或±2.75

6.8或±3.4

9.5或±4.75

10或±5

13.5或±6.75

mrad±20%

傳感器類型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

閉/開環分辨率

0.05/0.02

0.15/0.05

0.25/0.1

0.35/0.12

0.45/0.15

0.5/0.2

μrad

閉環線性度

0.1/-

0.15/-

0.2/-

0.25/-

0.25/-

0.25/-

%F.S.

閉環重復定位精度

0.02/-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

%F.S.

空載諧振頻率

3.7

3.5

3.4

3.3

3.2

3.1

kHz±20%

閉/開環空載階躍時間

1.5/1

2.5/1.5

3/2

5/2.5

6/3.5

8/4

ms±20%

閉環空載 工作頻率

10%行程

1000

800

500

400

300

150

Hz±20%

行程

80

60

40

30

25

15

靜電容量

3.6/軸

5.2/軸

7.2/軸

9/軸

11/軸

14.5/軸

μF±20%

材質

鋼

鋼

鋼

鋼

鋼

鋼

重量

190

220

240

265

290

340

g±5%

偏轉臺長度L

37

46

55

64

73

91

mm±0.1