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P83系列壓電驅(qū)動測微頭是將標(biāo)準(zhǔn)的測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷相結(jié)合，通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的位移,測微頭的分辨率是10μm，再通過控制驅(qū)動電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置，從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)，壓電陶瓷行程范圍可達(dá)20μm,壓電陶瓷運動的分辨率可＜1nm，這個壓電驅(qū)動測微頭可以對元件進(jìn)行大行程、高精度定位。

 P84系列壓電驅(qū)動測微頭是將測微頭與高分辨率的壓電陶瓷結(jié)構(gòu)相結(jié)合，通過手動調(diào)節(jié)測微頭實現(xiàn)大范圍的位移, 再通過控制驅(qū)動電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置，從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭的精調(diào)節(jié)，壓電陶瓷行程范圍可達(dá)110μm, 壓電陶瓷運動的分辨率達(dá)2.5nm，測微頭的分辨率是10μm，整體結(jié)構(gòu)可以對元件進(jìn)行大行程、高精度定位。