P76系列壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計(jì)的，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，物鏡補(bǔ)償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動(dòng)物鏡頭聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。 P76系列為大負(fù)載壓電物鏡定位器，承載力zui大可達(dá)500g，并帶動(dòng)大負(fù)載物鏡做高速運(yùn)動(dòng)。閉環(huán)精度高，滿行程線性度達(dá)20nm，可進(jìn)行激光聚焦，已廣泛應(yīng)用于激光晶圓切割等半導(dǎo)體器件及微電子加工領(lǐng)域中。P76物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接，將物鏡快速鎖定在預(yù)期位置。多種螺紋牙可選，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯微鏡集成安裝。 P76壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡 等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。它也可以通過適配器與手動(dòng)調(diào)節(jié)臺(tái)相結(jié)合使用。 特性 • Z向運(yùn)動(dòng)，zui大行程110μm • zui大承載0.5kg • 毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間 • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 聚焦穩(wěn)定性好 產(chǎn)品組成及運(yùn)動(dòng)方向 | 產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖 | 可裝配多種品牌、尺寸的物鏡 | 
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大負(fù)載、高頻響、高分辨率 | 頻率負(fù)載曲線 | 應(yīng)用實(shí)例-超精密激光加工 | P76納米掃描聚焦系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是為了大負(fù)載、大孔徑物鏡在現(xiàn)代高分辨率顯微應(yīng)用中達(dá)到zui快的階躍時(shí)間。它極其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)提供了非常快的穩(wěn)定時(shí)間及掃描頻率，即使帶載幾百克的物鏡時(shí)。多個(gè)壓電驅(qū)動(dòng)器的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使它具有較高的剛度，同時(shí)保證了優(yōu)異的導(dǎo)向精度和動(dòng)態(tài)性。 P76壓電物鏡定位器的zui大通光孔徑為22mm，zui大負(fù)載為500g，它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應(yīng)用中常用的大視場物鏡。 | 
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響應(yīng)時(shí)間可調(diào)節(jié) | 驅(qū)動(dòng)方式 | 閉環(huán)曲線 | 配不同控制與承載響應(yīng)時(shí)間可調(diào)。 
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應(yīng)用 • 三維成像 • 自動(dòng)聚焦系統(tǒng) • 晶圓切割 • 干涉/計(jì)量 • 半導(dǎo)體測試 • 表面檢測 • 共焦顯微 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析 |
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