P66系列壓電納米定位臺是一維X軸壓電平移臺，它以壓電陶瓷為驅(qū)動源并采用直驅(qū)式驅(qū)動機構(gòu)，是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位 系統(tǒng)。可以通過疊加組合的方式組成二、三維壓電納米定位臺，實現(xiàn)XYZ軸34μm的位移行程，可選擇內(nèi)置高精度傳感器進行閉環(huán)納米級 精密定位控制。產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。 開環(huán)與閉環(huán)版本可選P66系列壓電納米定位臺可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版 本，閉環(huán)版本壓電納米定位臺內(nèi)部配有高分辨率及快 速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器（SGS），配備在驅(qū)動機構(gòu)的合 適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信 號。 傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該系列 納米定位臺可以實現(xiàn)滿行程0.05%的線性度與重復(fù) 度。 應(yīng)用實例：原子力探針掃描顯微鏡芯明天P66.XY壓電納米定位臺以其高響應(yīng)頻率、高精度、高可 靠性等優(yōu)勢廣泛應(yīng)用于原子力探針掃描顯微鏡中。 P66系列壓電納米定位臺特點： zui大位34μm• 開環(huán)閉環(huán)可選 • zui大承載5kg• 重復(fù)定位精，可達納米級• 亞毫秒響應(yīng)時間 P66系列壓電納米定位臺典型應(yīng)用
• 干涉/ 掃描 • 計量
• 質(zhì)量保證測試 • 微加工/精密控制
• 光盤驅(qū)動測試 • 半導(dǎo)體技術(shù) P66系列壓電納米定位臺技術(shù)參數(shù)： | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P66.X30S P66.X30K | P66.XY30S P66.XY30K | P66.XYZ30S P66.XYZ30K | 單位 | 運動自由度 | X | X、Y | X、Y、Z | | 標稱行程范圍（0~120V） | 24 | 24/軸 | 24/軸 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 34 | 34/軸 | 34/軸 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 閉/開環(huán)分辨率 | 1.5/0.7 | 1.5/0.7 | 1.5/0.7 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.05/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <15 | <15 | <15 | µrad | 推/拉力 | 150/15 | 120/15 | 80/15 | N | 運動方向剛度 | 5 | X4/Y4.2 | X2.8/Y3/Z3.2 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 2.6 | X1.1/Y1.8 | X1.2/Y0.8/Z0.5 | kHz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 5/0.8 | 5/0.8 | 10/0.8 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 500 | 260 | 150 | Hz±20% | 行程 | 50 | 25 | 15 | zui大承載 | 5 | 4.5 | 3.5 | kg | 靜電容量 | 3.6 | 3.6/軸 | 3.6/軸 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | 鋁 | | 重量 | 120 | 260 | 500 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。
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